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轻快的脚步声回响在中关村科技大楼五楼,陈春仙实在无法抑制自己的情绪,空气中倘若有一个旋律传来,他便能翩翩起舞。
受他影响,李建昆也有种哼小曲的冲动。
咔咔!
特制的实木大门被推开,陈春仙领着李建昆走进一间秘密中的秘地。
目前除了这层不对外开放的楼层内、签署过保密协议的工作人员外,无人知晓,此地静静“躺”着一个世界第一。
“看!”
陈春仙激动抬手:“四代光刻机!”
纯白色调的房间居中,有一台体积不小的机器,规模是华夏硅谷公司一年前出品的三代光刻机的近两倍,像一间小房子。
三代光刻机叫作“扫描投影式光刻机”。
这小子说懵的……
那么,老陈说这是全世界第一台第四代光刻机,大抵上没毛病。
直到第五代EUV光刻机的问世。
不在技术上有革命性的创新,无法突破。
在前世,它统治这个领域的时间接近三十年。
反之,如果没有这道灵光乍现,一个小小的问题,或将困住一个科学家一生。
“华夏硅谷公司没启动光刻机项目之前,我国的光刻机水平,距离世界领先,大约有五年时间。”
老陈扬起嘴角:“甩他们二里地,其实,也没那么难。”
四代尽管只多两个字“进步”——进步扫描投影式光刻机,但它却是最具代表性的光刻机产品。
“牛!”
这台光刻机已超出李建昆这个键盘侠,能够看懂的极限,他只能通过键盘侠的知识来判断,如果达到了这种最小工艺,那么它确实是台正儿八经的四代光刻机。
科学研究,许多时候关键性的进展都来自于灵光乍现,好像被苹果砸中后的牛顿,悟出万有引力。
李建昆却知道,这一年来,老陈回家过夜的次数,不超过十次。
你猜怎么着?
陈春仙不是没问过他咋想到的。
“我说过,再给我一年时间,我必定赶上他们。”
暂时没有消息。
可行!
要知道,他家没几步路,从科院离职后,置了套宅子,就在中关村。
他们在研发第四代光刻机时,对于怎么样来突破三代光刻机的桎梏,一筹莫展之际,是建昆提醒:尝试使用一下193nmArF激光光源。
三代光刻机的最小工艺极限是130nm。
坦率讲,陈春仙怀疑过,他可能是外星人……
“别别别。”李建昆怕他又问东问西,赶紧岔开话题,绕着四代光刻机一边转着圈圈,一边作了解。
建昆给他们的还不是灵光乍现,而是或许唯一的标准答案。
不过,他似乎真没觉得辛苦、劳累,全身心投入,乐在其中。
“不。”李建昆说,“你超越了他们。”
李建昆递给老陈一個大拇哥,得亏他有点心理准备,始终关注着华夏硅谷公司这边光刻机的研发进度,否则陡然得知这个消息,难免要一蹦老高。
陈春仙当时极其惊诧,没想到建昆连激光都懂。
“最小工艺推进到了多少?”
我信你个鬼!反正吧,陈春仙发觉他越来越看不穿建昆,这人根本无法用言语来度量——
只有老天爷才知道,彼时实验室里,包括他在内的所有研究人员的震惊。
反正没有头绪嘛,抱着试一下的心态,他们听取建议,使用上193nmArF激光光源。
李建昆早评价过,老陈是一位难得的科研天才,却不适合做一名企业家,实验室才是他的领域和地盘,他的乐土。
“这台机子虽然是我带着团队干出来的,但我不敢说是我创造了它,建昆,首功还得颁给你呀。”
陈春仙的表情颇有些复杂。
“80nm。”
阿麦斯是八十年代哪一年推出的第四代光刻机,李建昆脑子里没有精确的信息,可以肯定的一点是:
老陈单手叉腰说:
“去年,我们制造出第三代光刻机,就技术层级来讲,已经和世界领先持平,仅仅是在尖儿尖儿上,有那么一丁点落后。
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