第(2/3)页 周瑜打量了几眼,看着这两方高管层的脸色,心下了然。 如果不赶紧处理这個问题,自家公司的芯片设计方案恐怕还要被耽搁。 “老李,走,我们去看看。” 周瑜点了一下李贤审,然后走到夏芯国际的工程师身旁。 瞥了眼桌面上的文件,周瑜开门见山道:“小于100n工艺下,一个导电层线宽的关键尺寸波动取决于四个不同的因素:离焦、掩膜误差、晶圆平面的曝光和厚度方向的拓扑结构。 DF模型必须包括所有产生波动的来源以及它们之间的相互作用。 类似于典型的工艺和器件模型,需要采用特殊的测试设计或测试结构来构建测试框架。然后,利用在测试框架上测量得到的数据产生DF中的数学模型。 流片并不急,你们应该急的是将这部分数据建立优秀的数学模型。” 夏芯国际芯片部门技术总裁李立珉与夏南半导体公司总裁詹夏兴,以及其他几位工程师都不约而同地望了过来。 夏芯国际半导体实验室工程师熊和卫思索了一下,然后恍然大悟,猛地点头道:“对,就是这个方案,我们这段时间也一直有这个想法。” 想法? 周瑜听到这个答案,不禁反问道:“你们这个想法还没有落实,是数据模型没有建立,还是说已经建立了成熟的模型,现在打算给合作企业?” 熊和卫听到周瑜这个问话,突然就愣住了。 他下意识看向自家高层。 李立珉见状,深吸了一口气,回答道:“没有建立数据模型,我们怎么可能完成更高制程的芯片代工?我们现在打算的是在保护我司知识产权的情况下,为重要合作伙伴提供这些模型与部分数据,以帮助合作伙伴们设计半导体芯片。” “嗯。” 还没等周瑜说话,一旁夏南半导体的总裁就急忙说道:“那还不赶快给我们数据模型?!我们的产品项目期限不多了。” 第(2/3)页