第302章:发展-《奋斗在九十年代》


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    海豚科技仅仅就是这几家研究所吗?

    当然不是。

    刘美娟另外还建立了物理研究所和化学研究所,只不过这两家研究所完全是外来研究团队所掌控,海豚科技没有派遣一名管理人员。

    这第一是因为海豚科技没有这方面的人才。

    第二是这两家研究所完全是为芯片制造设备研发配套的科研基地,在芯片制造中,除了最重要的光刻程序,还有离子蚀刻,离子镀膜、离子掺杂等重要工序,还有各种性能的光刻胶也必不可少。

    这两家研究所是刘美娟直接领导的项目团队之一。

    三年时间过去,刘美娟的科研团队到底取得了一些什么成就呢?

    首先必须说明,他们的研究不是凭空去研究,而是分做了几步走的步骤。

    第一步,是对原来那套6英寸硅晶圆生产设备进行深入研究。

    然后在自己所掌握的技术基础下,对那套落后的生产设备,进行不断改良。

    这两步,其实都是学习阶段,真正研制新设备,要求要高得多,刘美娟有一个大胆的计划,想一步达到十纳米或16纳米的标准。

    也就是说,如果另外研制芯片制造设备,还需要一至两年的技术积累。

    经过这几年的研究改进,他们引用了极深紫外激光光刻技术,浸润式光刻技术,铜互联工艺,双工件台技术,鳍式场效应晶体管技术等等当今和未来最主流的制程技术,只是由于纳米级精密工艺尚没有得到突破,所以还处在0.18微米的制程工艺水平,比欧美相差一代,达到了世界第二梯队水平。

    但这种情况很快就会得到改变,因为纳米级数控机床的研制,已经达到了突破的边缘,差的只是时间问题。

    从一微米的落后工艺水平,用三年时间,提高到了0.18微米的制程工艺水平,提升了整整四代,这是一项了不起的成就。

    这其中的艰辛,可想而知,为此海豚科技也投入了几十亿的巨资,可以这么说,这完全是用钱砸出来的。

    0.18微米,其实就是180纳米,欧美先进一代就是90纳米。
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