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    第章安装设备（上）

    “吊车已经在路上了，过几分钟就能到。”

    众人站在无尘车间外等了几分钟，两辆0吨级吊车就赶到了瑞达电子厂，而后以吊装的方式，将集装箱货车上的光刻机和刻蚀机，分别送入四个无尘车间。接下来就是漫长的设备安装和调试，光刻机和刻蚀机，是这个世界上最精密的设备之二，可以在晶圆上完成纳米级别的精加工，如此高端的设备，对安装环境的要求也是非常的苛刻，平整度、温度、安装精度缺一不可。瑞达电子厂斥巨资打造这四个电子级无尘车间，主要就是为了这两种设备服务。

    王成业院士捧着一本足有砖头厚的英文原版安装说明书，一边翻看，一边感叹道：“啧啧啧，不愧是当前世界最先进的duv光刻机，只是安装说明书，就有上千页，看着就让人头大。”

    林梦松也跟着附和道：“谁说不是呢，越高端的设备越是娇贵，就拿这台光刻机来说，安装的环境温度高了不行，湿度大了不行，灰尘多了也不行，噪音稍稍大一些，成品率都会受到影响。”

    “要说还是咱们乔同学神通广大，最阿斯麦先进的duv光刻机都能搞的来，有了它，冲击n制程一点难度都没有。”周万达看着面前这几台设备，口水都要流下来了。要是他所在的北大集成电路实验室有两台如此先进的光刻机，怕是n制程早就攻克了。

    林梦松抚摸着一台光刻机的外壳，说道：“小了，你的野心也太小了，n算什么，有了这些最先进的duv光刻机和刻蚀机，通过套刻，多次曝光等工艺，实现n芯片的制造都是可能的，只是成品率可能没那么高。”

    “我去，真的假的，如果真的实现了n工艺，那岂不是领先主流芯片加工技术三个节点，林博士，你不会是在吹牛吧？”

    “我也觉得不可能，如果这套设备真的能实现n工艺制程，那摩尔定律岂不是要失效了。”

    “我看那些期刊上说，要在芯片加工领域实现n工艺制程，必须使用光波更短的uv（极紫外）光刻机，这个duv光刻机做不到这么小的加工精度吧，能实现n工艺就已经很了不起了。”
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